画像処理による、高精度な外観検査システム

非接触の形状検査システム iVision D-Measure

iVision D-Measure の特長

変位計により製品の幅、高さの検査が簡単に

計測が難しい製品の寸法検査が簡単にできます。

段差や平面の寸法を計測

段差や平面の寸法や、断面の形状の検査にも対応しています。

複数の製品の自動検査に対応

ステージに置いた複数の製品を検査可能です。
カメラがステージ上を移動しながら、同じ検査ができます。

外観検査との組み合わせも可能

形状検査だけではなく、欠陥検出などの外観検査と組み合わせることができます。

検査結果を保存可能

計測結果をファイルとして保存することで、過去の検査結果を確認することができます。
検査精度の確認や、問題発生時の調査に役立ちます。

iVision D-Measure の基本性能・仕様

iVision Scope
検査事例 高さ、厚み、反り、歪み、振れの測定
段差判別
可動範囲 x 方向:300mm、y 方向: 300mm、z 方向: 100mm
繰り返し位置決め精度 ±1 μm
検査対象サイズ(最大) 横:300 mm、縦:400 mm/s
ステージ可搬重量 最大 20 kg
移動速度 1 ~ 255 mm/s
測定範囲/分解能 ロングタイプ:±40 mm/0.2 μm
ミドルタイプ:±20 mm/0.1 μm
ショートタイプ1:±5 mm/0.05 μm
ショートタイプ2:±1 mm/0.01 μm
(※上記タイプより選択)
システム紹介