非接触の形状検査システム iVision D-Measure
iVision D-Measure の特長
変位計により製品の幅、高さの検査が簡単に
計測が難しい製品の寸法検査が簡単にできます。
段差や平面の寸法を計測
段差や平面の寸法や、断面の形状の検査にも対応しています。
複数の製品の自動検査に対応
ステージに置いた複数の製品を検査可能です。
カメラがステージ上を移動しながら、同じ検査ができます。
外観検査との組み合わせも可能
形状検査だけではなく、欠陥検出などの外観検査と組み合わせることができます。
検査結果を保存可能
計測結果をファイルとして保存することで、過去の検査結果を確認することができます。
検査精度の確認や、問題発生時の調査に役立ちます。
iVision D-Measure の基本性能・仕様

検査事例 | 高さ、厚み、反り、歪み、振れの測定
段差判別 |
---|---|
可動範囲 | x 方向:300mm、y 方向: 300mm、z 方向: 100mm |
繰り返し位置決め精度 | ±1 μm |
検査対象サイズ(最大) | 横:300 mm、縦:400 mm/s |
ステージ可搬重量 | 最大 20 kg |
移動速度 | 1 ~ 255 mm/s |
測定範囲/分解能 |
ロングタイプ:±40 mm/0.2 μm ミドルタイプ:±20 mm/0.1 μm ショートタイプ1:±5 mm/0.05 μm ショートタイプ2:±1 mm/0.01 μm (※上記タイプより選択) |